Биография

6 августа 1933 года, Казань -

После окончания физико-математического факультета Казанского университета (1956) работал на Казанском заводе «Теплоконтроль».

С 1957 года начальник сектора на Казанском предприятии п/я 379 (ныне Федеральный научно-производственный центр Государственного института прикладной оптики).

С 1964 года в Москве: в научно-исследовательском институте молекулярной электроники, начальник отдела, главный научный сотрудник (с 1988 года). Одновременно профессор Московского института электронной техники (с 1987 года).

Научная деятельность

Труды по прикладной оптике и технологии микроэлектроники. Разработал технологии изготовления многослойных интерференционных, отрезающих и полосовых светофильтров, формирования многоуровневых межэлементных соединений интегральных микросхем на кремнии.

Имеет более 50 авторских свидетельств на изобретения.

Награды

Государственная премия Таджикской ССР имени Абу Али ибн Сины в области науки и техники (1987).

Сочинения

Планаризация многоуровневой металлизации СБИС // Электронная промышленность. 1994. № 6 (соавтор).

Тонкие плёнки: применение, физическая сущность и классификация методов их формирования. М., 2000. Т. 3.