- РУС
- ТАТ
учёный в области микроэлектроники, доктор технических наук (1986), профессор (1987)
6 августа 1933 года, Казань -
После окончания физико-математического факультета Казанского университета (1956) работал на Казанском заводе «Теплоконтроль».
С 1957 года начальник сектора на Казанском предприятии п/я 379 (ныне Федеральный научно-производственный центр Государственного института прикладной оптики).
С 1964 года в Москве: в научно-исследовательском институте молекулярной электроники, начальник отдела, главный научный сотрудник (с 1988 года). Одновременно профессор Московского института электронной техники (с 1987 года).
Труды по прикладной оптике и технологии микроэлектроники. Разработал технологии изготовления многослойных интерференционных, отрезающих и полосовых светофильтров, формирования многоуровневых межэлементных соединений интегральных микросхем на кремнии.
Имеет более 50 авторских свидетельств на изобретения.
Государственная премия Таджикской ССР имени Абу Али ибн Сины в области науки и техники (1987).
Планаризация многоуровневой металлизации СБИС // Электронная промышленность. 1994. № 6 (соавтор).
Тонкие плёнки: применение, физическая сущность и классификация методов их формирования. М., 2000. Т. 3.
Вы используете устаревшую версию браузера.
Для корректного отображения сайта обновите браузер.